Polski CEZAMAT wspiera możliwości kraju w zakresie fotoniki i szersze europejskie ambicje w zakresie chipów

Centrum Zaawansowanych Materiałów i Technologii (CEZAMAT) Politechniki Warszawskiej, jeden z największych projektów inwestycyjnych w dziedzinie zaawansowanych technologii w zakresie badań i rozwoju, stanowi filar podtrzymujący ambicje Polski w zakresie półprzewodników, a zwłaszcza tętniącego życiem ekosystemu fotonicznego w kraju. Oprócz Politechniki Warszawskiej jako lidera konsorcjum, w skład CEZAMAT wchodzą także Wojskowa Akademia Technologiczna, Uniwersytet Warszawski i kilka instytutów Polskiej Akademii Nauk.

Współfinansowany przez Unię Europejską i założony, aby umożliwić interdyscyplinarny rozwój badań nad nowoczesnymi materiałami i technologiami, CEZAMAT prowadzi sieć wyspecjalizowanych laboratoriów. Na przykład Dział Inteligentnych Systemów Półprzewodnikowych CEZAMAT dysponuje zespołami badawczymi zajmującymi się zarówno technologiami półprzewodników planarnych, jak i zintegrowaną fotoniką, a także mieści różne zaawansowane urządzenia dla partnerów akademickich i przemysłowych, w tym systemy do łączenia płytek, wyrównywania masek, suchego trawienia, litografii wiązką elektronów i Chemiczne osadzanie z fazy gazowej.

Zespół zintegrowanej fotoniki CEZAMAT zajmuje się badaniami podstawowymi i przemysłowymi oraz rozwojem w zakresie projektowania, symulacji, wytwarzania i charakteryzowania zintegrowanych urządzeń fotonicznych. Zintegrowane komponenty fotoniczne działające w świetle widzialnym, takie jak światłowody, dzielniki mocy optycznej i de/multipleksery, zostały wyprodukowane na platformie azotku krzemu (SiN) wraz z rozwojem fosforku indu (InP) i komponentów fotonicznych opartych na SOI. Warto zauważyć, że zastosowanie litografii wiązką elektronów w procesie produkcyjnym pozwala na prototypowanie komponentów i obwodów fotonicznych bez konieczności stosowania masek fotolitograficznych, umożliwiając w ten sposób szybkie prototypowanie. Aktualnie posiadany sprzęt pozwala na wykonanie podłoży o średnicach 2, 4 i 8 cali.

W maju 2024 roku CEZAMAT wspólnie utworzył Centrum Kompetencyjne Mikroelektroniki i Fotoniki wraz z Polskim Instytutem Mikroelektroniki i Fotoniki im. Łukasiewicza oraz Instytutem Tele i Radiotechniki im. Łukasiewicza, przy wsparciu finansowym Krajowego Planu Odzysku Energii Polska. W ramach projektu CEZAMAT dokona zakupu nowego sprzętu w istniejących laboratoriach, mając na celu stworzenie unikalnej w Polsce mocy produkcyjnej chipów fotonicznych i urządzeń mikroelektronicznych. Po ukończeniu, zdaniem CEZAMAT-u, będzie to także jedyny park technologiczny w Europie Środkowo-Wschodniej w pełni przystosowany do podłoży 8-calowych.

Konsorcjum FAMES – jeden z największych projektów europejskiego prawa chipowego, z finansowaniem w wysokości 830 mln euro przekazanym przez uczestniczące państwa członkowskie i Chip Joint Undertaking, obejmuje także CEZAMAT jako jedną z czterech linii pilotażowych, które będą rozwijać nowe technologie, takie jak FD-SOI przy 10 nm, 7 nm i wbudowane pamięci nieulotne. Linie pilotażowe będą dostępne dla wszystkich europejskich uniwersytetów i firm. W projekcie prowadzonym przez francuski instytut badawczo-rozwojowy CEA-Leti, w projekcie uczestniczą także inni kluczowi gracze w europejskim ekosystemie chipów, w tym belgijska firma Imec, niemiecka Fraunhofer Mikroelektronik i irlandzka firma Tyndall.